アンリツ株式会社（社長 濱田 宏一）は、センシング^[※1]用光源として、産業・医療・インフラ/プラント計測など幅広い分野で利用できる1550nm帯波長掃引光源AQA5500P（掃引周波数1.25kHz）、AQB5500P（同150Hz）を開発し、8月26日から販売いたします。

今回商品化した波長掃引光源は、単一の狭線幅の縦モードをモードホップ^[※2]を抑制して掃引できるため、位相連続でかつ高コヒーレンス^[※3]な波長掃引光が得られます。本波長掃引光源をOFDR^[※4]などの光干渉法による測長計測に用いれば、広い範囲を高精度で測定することができます。AQB5500Pは、100ｍ以上のコヒーレンス長も実現できるため、測定距離範囲を100ｍ以上まで広げることができます。

そのため眼科OCT装置や薄膜の膜厚計側のみならず、FA分野における形状計測や、インフラ・プラントなどの大型構造物のOFDRを実現します。

開発の背景

近年、レーザ光の可干渉性を利用した光計測法のひとつであるOFDRがさまざまな分野で応用され始めています。高精度形状測定、薄膜の膜厚測定、微細構造形状計測などの分野では実用化が進んでいます。

これらの分野に向けて、アンリツはMEMS^[※5]技術によりkHzオーダの高速波長掃引が可能で波長掃引幅が広く、高コヒーレンスな波長掃引光源を開発しました。

製品概要

アンリツの波長掃引光源は、単一の狭線幅の縦モードを位相連続で、かつモードホップフリーで波長掃引しています。高コヒーレンスな本波長掃引光源をコアデバイスとして、干渉計、受光器、A/Dコンバータ等を組み合わせることにより、従来よりも広い測定範囲を高速かつ高精度に測定できるOFDR測定器を構築することが可能となります。

波長掃引光源についてもっと詳しく

OFDRについてもっと詳しく

対象市場・用途

対象市場

FA/医療/インフラ/プラントにおける測長・測距、形状計測

用途（例）

• 測長・測距、形状計測
  • FA分野：産業用OCT、精密計測・検査（膜厚、加工物の形状、バリ、傷など）、振動計測（リアルタイムな測距）、外乱存在下（スパーク等）での測距、対象物から離れた場所からの測距
  • 医療分野：医療用OCT、ファイバセンシング
• インフラ/プラント分野：大型構造物の形状、変位、ファイバセンシング