Skip to main content

グラフェンのナノスケール微細加工技術を確立

2021/11/24

20211119-graphene-picture

アンリツ株式会社(社長 濱田 宏一)は、当社の先端技術研究所(以下、先端研)が水素プラズマエッチング技術を用いた、グラフェンのナノスケール微細加工技術の確立に成功したことをお知らせいたします。

先端研では、魅力のある持続可能な未来を見据え、小型、高感度で、消費電力の小さいセンサーデバイスの開発に向けた基礎研究を進めています。

グラフェンは、そうした次世代デバイスの素材として注目を集める物質であり、今回の技術開発により、それを原子ひとつひとつの精度で加工できるようになりました。これを更に発展させ、将来の6Gなどでも活用できるナノデバイスの実現を目指します。

開発の概要

デバイスの小型化に際して、ナノメートル(10億分の1メートル)スケールのデバイスでは、大きさに占めるデバイス端の比率が高まるため、グラフェンを加工した後の端の構造が重要となります。一般的なグラフェン加工方法では、端の構造が制御できず、グラフェンの構造を一定に保つことが容易ではありませんでした。

水素プラズマエッチング技術で加工されたグラフェンの端は、原子スケールでジグザグ型をなし、sp2結合により水素原子ひとつで終端されていることがわかっています。今回、この技術を活用してグラフェンのナノスケール構造の作製に成功しました。

今後は、水素プラズマエッチングで得られるジグザグ型の端に挟まれたナノスケールのリボン状グラフェンに注目し、デバイスとしての物性を評価してまいります。

本研究成果は、11月28日(日)から開催される国際シンポジウム「The 9th International Symposium on Surface Science」にて発表します。

本研究の詳細についてはこちらをご覧ください。

関連リンク

Confirm your country below to see local events, contact information and special offers.