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1550nm帯SLD光源のラインアップ拡充

2021/09/01

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アンリツ株式会社(社長 濱田 宏一)は、センシング用光源として、産業・医療・精密計測など幅広い分野で利用できる1550nm帯スーパールミネッセントダイオード(SLD)光源を開発しました。9月1日から販売いたします。

今回開発したSLD光源は、ファイバ出力が3mW typ.の低出力タイプ:AS5B310KM50Mと、ファイバ出力が25mW typ.の高出力タイプ:AS5B320EM50Mの2種類です。

広いスペクトルを持つ低コヒーレント光を偏波保持ファイバから取り出すことができる点や、温度調整用のペルチェクーラを内蔵することにより、幅広い温度環境下で動作可能な点に特長があります。また、モジュール内には光量モニタ用のフォトダイオード(PD)を内蔵しています。さらに、光学アイソレータを内蔵しているため、干渉計測時の戻り光の影響を受け難くなっています。

本光源の用途としては、産業向けOCT[※1]や薄膜の膜厚計測などの干渉計装置への組み込み、半導体製造装置の位置決めに用いられるAFユニットやエンコーダ/リニアスケールなどの精密位置決め装置への組み込み、移動体の姿勢制御に不可欠な光ファイバジャイロへの組み込みなどにご活用いただけます。

開発の背景

SLDは、LD並みの出力とLED並みの低コヒーレンス性、および広いスペクトラム幅を兼ね備えた光デバイスです。SLDを使用することでコヒーレンスノイズが低減され、高精度測定が可能となることから、光応用計測分野や医療イメージング分野ほか、幅広いセンシング分野で用いられています。

近年では、通信帯である1550nm帯の安価な光学部品を活用した低コスト化の動きが顕著となっています。アンリツでは、長年蓄積された高品質なモジュール量産体制を背景に、この波長帯のSLD光源ラインアップを拡充させ、センシング技術の発展に貢献してまいります。

製品概要

アンリツのSLD光源は、中心波長850nm、1330nm、1550nmおよび1650nmを製品化しており、センシングに適した広いスペクトル幅を持っております。特に1550nm帯のSLD光源は、スペクトル幅が55nm typ.(AS5B320EM50M)と広いため、干渉計測では高分解能を得ることができます。また、SLDはLDのような指向性を有しており、光ファイバへの集光や空間的な長距離照射ができます。

対象市場・用途

対象市場
産業計測/精密計測
用途
  • 産業計測
    産業用OCT、薄膜の膜厚計測、半導体製造装置用のAFユニット
  • 精密計測
    エンコーダ、リニアスケール、光ファイバジャイロ

用語解説

[※1] OCT
OCTとは、光干渉断層像(Optical Coherence Tomography)の略であり、光の干渉現象を利用して物体の表面の粗さや生体の断層イメージを精密に計測し、非破壊、非接触で確認できる技術です。

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