ビルトインタイプの1550nm波長掃引光源を開発

アンリツ株式会社（社長 濱田 宏一）は、センシング用光源として産業、医療、インフラ、プラント計測など、幅広い分野で活用できるビルトインタイプの1550nm帯波長掃引光源 AQA5500D（掃引周波数1.25kHz）、AQB5500D（同150Hz）を開発しました。7月26日から販売いたします。

今回商品化した波長掃引光源は、ビルトインタイプとして小型形状が特長であり、各種装置への組み込みに適しています。従来のベンチトップタイプと同様に、単一の狭線幅の縦モードをモードホップフリーで掃引する、位相連続でかつ高コヒーレンス^[※1]な波長掃引光を出力します。本波長掃引光源をOFDR^[※2]などの光干渉法による測長計測に用いれば、数10m離れた位置からミクロンオーダの高精度で測定することができます。

本光源は、OCT装置や薄膜の膜厚計側装置への組み込み、FA分野における形状計測装置や、インフラ・プラントなどの大型構造物のOFDRシステムへの組み込みなどにご活用いただけます。本光源の提供を通じて、アンリツはセンシング技術の発展に貢献しIoT社会を後押してまいります。

開発の背景

近年、レーザ光の可干渉性を利用した光計測法のひとつであるOFDRがさまざまな分野で応用され始めています。高精度形状測定、薄膜の膜厚測定、微細構造形状計測などの分野では実用化が進んでいます。

これらの分野では、お客さまの各種装置への組み込みに適した、小型で軽量なビルトインタイプの光源が求められています。昨年開発したベンチトップタイプに続き、本製品を提供することにより、お客さまのニーズにお応えしました。

製品概要

アンリツの波長掃引光源は、単一の狭線幅の縦モードを位相連続で、かつモードホップフリーで波長掃引しています。装置組込に適した本波長掃引光源は、干渉計、受光器、A/Dコンバータ等を組み合わせることにより、数10mの広い測定範囲を高速かつミクロン精度で測定できるOFDR測定器を構築することが可能となります。

OFDRについてもっと詳しく

対象市場・用途

対象市場

FA/医療/インフラ/プラントにおける測長・測距、形状計測

用途

• 測長・測距、形状計測
  • 例）FA分野：産業用OCT、精密計測・検査（膜厚、加工物の形状、バリ、傷など）、振動計測（リアルタイムな測距）、外乱存在下（スパーク等）での測距、対象物から離れた場所からの測距
  • 医療分野：医療用OCT、ファイバセンシング
• インフラ/プラント分野：大型構造物の形状、変位、ファイバセンシング