Anritsu 安立知宣布，韓國領先研究機構—韓國電子通信研究院 (Electronics and Telecommunications Research Institute；ETRI) 選擇 Anritsu 安立知寬頻向量網路分析儀 (VNA) VectorStar™ ME7838G，用於其採用氮化鎵 (GaN) 單晶微波積體電路 (MMIC) 的高頻元件特性分析與設計驗證。藉由導入 ME7838G ，ETRI 已建置針對毫米波 (Millimeter-wave；mmWave) 與次太赫茲 (sub-THz) 應用的評估平台，成功提升量測再現性，並實現可靠的設計驗證。

隨著次世代通訊技術持續進展，元件評估正逐步延伸至毫米波與 sub-THz 頻率範圍。為提升 GaN MMIC 元件開發的設計準確度與效能預測能力，ETRI 進行寬頻特性分析，不僅涵蓋元件的工作頻段，也包含諧波頻率範圍。晶圓上量測 (On-wafer measurement) 可在排除封裝與組裝影響的情況下直接在晶圓上評估元件特性，因而被廣泛應用於此類評估。然而，在毫米波與 sub-THz 的晶圓上量測中，探針接觸條件與量測系統效應極易導致量測變異，因此如何建立一套能在設計資料與實測資料之間進行高度可靠比對與驗證的評估平台，成為一項挑戰。

為了克服這些挑戰，ETRI 導入 ME7838G。ME7838G 支援最高達 220 GHz 的單次掃描量測，能在單一平台上涵蓋從毫米波到 sub-THz 的頻率範圍進行評估。由於寬頻評估可透過單一量測系統完成，ETRI 因此建置晶圓上評估平台，無需因應不同頻段切換量測系統，即可在一致的測試條件下進行從毫米波至 sub-THz 頻率範圍的量測。進而提供了一個理想環境，使寬頻範圍內所取得的量測數據能夠在一致條件下與設計數據進行高精準度的比對與分析。

Anritsu 安立知深知，結合寬頻特性分析與高量測再現性的量測技術，對於 6G 與次世代衛星通訊所需的高頻元件開發將日益重要。未來，Anritsu 安立知將持續透過其測試與量測技術，全力支援客戶在半導體研究、開發與評估方面的需求。

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「建立高頻評估平台，支援晶圓代工等級品質 (Establishing a High-Frequency Evaluation Platform to Support Foundry-Grade Quality)」

本案例研究介紹 ETRI 所建置的高頻評估平台，如何協助提升 GaN MMIC 的設計驗證與效能預測準確度。