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晶圓測試

滿足寬頻晶圓設備量測特性需求之高穩定性解決方案



VectorStar™ ME7838A 寬頻 VNA 系統 — 避免過期失效的校準損壞您的數據資料。

 


VectorStar ME7838A 向量網路分析儀在 110 GHz 時提供 109 dB 的動態範圍,並可在 70 kHz 到 110 GHz (使用 VDI 或 OML 模組時可高達 1 THz) 之間以 0.1bB 和 0.5 度 S21 的穩定性進行高靈敏性測量。 穩定的寬頻效能意味即使在長時間執行高精度測量,量測數據依然精準、萬無一失! 而縮短校準所需的時間,將有更多時間可用於有效量測。

對於晶圓測量,VectorStar 提供最小、最輕、最容易定位,以及可直接連接晶圓探針的頻率擴展模組。即使使用 4 埠量測,亦可拋開過去笨重且難以安裝的頻率擴展模組。全新 DifferentialView™ 提供真實信號激發模式 (TMS) 功能以提高量測精確性 — 讓您更有把握藉由測試提高產品規格。



晶圓模組


晶圓


VectorStar ME7838A 應用於晶圓測試之特性:


  • 最寬頻率範圍 70 kHz 至 110 GHz:
    提供最全面、最精確的寬頻量測


  • 領先業界的效能:
    動態範圍 109 dB @ 110 GHz


  • 縮短校準時間,延長有效量測時間:
    24 小時保持 0.1 dB 和 0.5 度S21 的高穩定性,縮短校準所需的時間,並有更多時間可用於有效量測


  • 唯一具有即時功率調整功能的寬頻 VNA 系統:
    支援高達 55 dB 的即時功率控制、精確的線性增益,以及 1 dB 壓縮測量


  • 最輕巧的毫米波 (mm-wave) 模組:
    輕巧的寬頻模組可輕易準確地定位於晶圓探針台上,並可直接連接探針
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    欲了解更多細節,請索取Anritsu免費白皮書:
    《最新 VNA 測試解決方案提高晶圓量測效率》

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