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オンウェハ

優れた測定安定性により広帯域オンウェハデバイスの特性化の要求に応えます。



広帯域ベクトルネットワークアナライザ(ME7838A-VectorStar™)は、長時間、優れた測定安定性を維持できるため、確かな測定ができ、校正時間も削減できます。


VectorStar™ ME7838Aは、110 GHzで109 dBのダイナミックレンジを有しており、70 kHzから110 GHz (VDI社又はOML社のモジュールで最大1 THzまで拡張可能) まで、高感度の測定ができます。 また、S21の安定度は24時間で振幅0.1 dB、位相 0.5 度を維持します。 広帯域で安定した性能により、長時間にわたり高精度の測定が可能となり、実施した校正の状態を確実に維持することができます。そのため、校正に費やす時間が短縮できます。

VectorStar™は、オンウェハ測定向けに小型・軽量、かつ簡単に直接プローブに取り付けが可能なミリ波モジュールを装備できます。今までの大型のミリ波モジュールでは、4port測定においても取り付けが非常に困難でした。新しいDiffentialView™では真の差動機能「True Mode Stimulus(TMS)」測定の精度が大きく向上しています。

 

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オンウェハモジュール


    最新のベクトルネットワークアナライザテストソリューションでオンウェハ測定の効率を向上をダウンロードする。

  
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VectorStar™ ME7838Aのオンウェハの特長:


  • 70 kHzから110 GHzまでの広い周波数範囲:
    より確実、より正確な広帯域測定を実現


  • 優れた基本性能:
    110 GHzで109 dBのダイナミックレンジ


  • 優れた測定安定度:
    S21の安定度は、24時間で振幅0.1 dB、位相0.5 度のため、校正回数、時間が削減できます。


  • リアルタイムで出力レベルの確認が可能:
    最大55 dBのパワーレベルをリアルタイムに制御、線形領域のゲイン、および1 dBゲインアツ縮点(P1 dB)の正確な測定が可能です。


  • 最小、軽量のミリ波モジュール:
    ミリ波モジュールは、小型・軽量のため、ウェハプローブに直接接続でき容易に、かつ正確にプローブステーション上に設置できます。
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