反射率分光 膜厚測定器
コンパクトな構造でありながら、パワフルな解析ソフトを有した光学系の膜厚測定器にて、研究・開発から製造・品質管理まで幅広いプロセスでの膜厚管理に寄与します。
独自の特別なアルゴリズムにより、短時間（通常一秒以内）に正確な”ワンクリック”測定を行い、測定時間の短縮に貢献できます。
主な特長
コンパクトな筐体
製造現場、開発者デスクでも設置可能なコンパクトな筐体
容易なオペレーション
容易なオペレーション、無駄を省いた測定構成。
条件設定から測定まで容易に操作。
幅広い測定レンジと高い精度
ワイドレンジの膜厚に対応（1 nm〜250 μm）
各層の膜厚をサブミクロンオーダーの精度で測定
高速測定、3D測定結果
測定結果を３D画像として表示することで数値だけでなく視覚的に膜厚を捉えることが可能
300 mmウエハー上の25ポイント測定を最速21秒で完了
主な仕様
F50x 自動マッピング膜厚測定システム
自動高速ステージにて、膜厚測定
クリックで拡大する
