膜厚測定・組成分析装置

フィッシャー・インストルメンツの蛍光X線膜厚測定器は、非破壊・非接触でありながら、精度と再現性を保持したまま短時間測定ができるため、製品の品質を維持しつつ、測定・検査工程の効率化に寄与します。

また、理想的な励起条件で管球の長寿命化を実現しているため、ランニングコストやダウンタイムを低減できます。

蛍光X線膜厚測定器　主な特長

画像認証　高速X-Yテーブル

画像認証による位置補正機能で大量の試料も連続自動測定可能

長寿命・高性能のX線管球

ランニングコスト・ダウンタイムの負担を軽減

統合解析ソフトウエア　WinFTM®

設定・測定・解析からレポートまで使い易さにこだわった統合ソフトウエア

画像による直感的な測定ポイント決め

ビデオ顕微鏡とレーザポインタで画像を見ながら位置決めが可能。座標を気にせず連続的に測定ポイントをプログラムできます。

非密閉式の Cスロット形状

前面と両サイドがスリット状（Cスロット）に開口しているため、大型のPCBなどのような大きく平らなパーツも測定可能

独自のDCM法

80mmまで調整可能な独自のDCM法（特許）による距離補正機能により、さまざまな高さの測定物も非破壊で測定可能

豊富な標準板ラインナップ

300種類以上のラインナップ。高精度測定を極限まで追求

主な仕様

蛍光X線膜厚測定器　主な仕様


製品名	XDLM® 237	XDV®-SDD	XDV®-μ	XAN® 500 （ハンドヘルド型蛍光Ｘ線式測定器）
測定元素範囲	Ca（20）～U（92）	Al（13）～U（92）	Al（13）～U（92）	S（16）～U（92）
サンプルステージ	電動プログラマブル	電動プログラマブル	電動プログラマブル	固定（BOX使用時）
Ｘ線検出器	比例計数管（PC）	シリコンドリフト（SDD）	シリコンドリフト（SDD）	シリコンドリフト（SDD）
コリメーター数/サイズ	4種 0.05 x 0.05mm 0.2 x 0.03mm Φ0.1mm Φ0.2mm	4種 Φ0.1mm Φ0.3mm Φ1.0mm Φ3.0mm	ポリキャピラリーレンズ Φ20 µm (オプション Φ10 µm)	1種 Φ2.0mm
Cスリット	Cスリット	密封型	Cスリット	なし
特長	・比例計数管タイプの最上位モデル。汎用性の高いスタンダードモデル	・豊富なプライマリフィルタで元素分析分解能をXDALよりさらに向上	・ポリキャピラリレンズを搭載した多層薄膜の測定が得意な　μ基本モデル・薄膜の厚さ測定（例）0.1µm以下のAuやPd	・携帯可能な蛍光X線式の膜厚測定および素材分析測定装置・バッテリ駆動
アプリケーション	・コネクター、接点部品の膜厚測定・電子部品・半導体産業での機能性多層膜測定・プリント基板産業のAu、Ni薄膜測定	・極薄膜や多層膜の検査（電子・半導体産業など）・スクリーニング分析（RoHS、玩具、包装材基準のための有害物質検査など）・NiPの組成分析、厚さ測定	・極薄膜や多層膜・機能性めっきの検査（電子・半導体産業など）・プリント回路基板、リードフレームなどの非常に小さい平らな部品や構造部分の測定	・機械部品や筐体など大型の測定対象物を移動したり切断することなく現場で素早く非破壊で検査・めっきの現場に携帯し測定

お客様サンプルの無料試測定サービスを行っております。

お問い合わせ・資料ご要求

ハンディタイプの小型膜厚計　主な仕様


モデル名	DUALSCOPE® MP0R	PERMASCOPE® MP0R	DELTASCOPE® FMP10・FMP30	ISOSCOPE® FMP10・FMP30	DUALSCOPE® FMP20・FMP40	DUALSCOPE® FMP100・H FMP150
測定方式	電磁式・渦電流式自動切替	電磁式	電磁式	渦電流式	電磁式・渦電流式自動切替	FMP100: 電磁式・渦電流式自動切替 H FMP150: 電磁式・渦電流式・磁気式ホール効果の3方式
測定対象	NF/Fe、Iso/NF	NF/Fe	NF/Fe	Iso/NF	NF/Fe、Iso/NF	・FMP100：NF/Fe、Iso/NF ・H FMP150：NF/Fe、Ni/NF
測定レンジ	0 - 2,000µm	0 - 2,500µm	接続プローブによる	接続プローブによる	接続プローブによる	接続プローブによる
特長	・持ち運びが便利なポケットサイズ、片手操作が可能・電磁式・渦電流式を自動切替・磁性金属や非磁性金属上の様々な皮膜厚を測定	・持ち運びが便利なポケットサイズ、片手操作が可能・電磁式により、磁性金属上のさまざまな皮膜厚を測定	・電磁式により磁性金属上の非磁性皮膜（銅、亜鉛メッキ、ラッカー等）を測定	・渦電流式により非磁性金属上の絶縁皮膜を測定	・素材材料の自動認識による電磁式と渦電流式の２種類の測定方式	・素材材料の自動認識による電磁式と渦電流式の２種類の測定方式に加えホール効果磁気式(H FMP150)
アプリケーション	・非磁性金属上の絶縁皮膜測定（アルミ上のアルマイト、銅やステンレス上の絶縁皮膜、ラッカー等）・磁性金属上の非磁性皮膜測定（鉄上の銅や亜鉛メッキ、ラッカー等）	・磁性金属上の非磁性皮膜の測定（鉄上の銅や亜鉛メッキ、ラッカー等）・国際海事機構の塗装性能基準（IMO PSPC90/10ルール）対応・米国鋼構造物塗装協会のSSPC-PA2規格対応	・鉄や鋼などの磁性金属を素地とするクロム、銅、亜鉛メッキ、ラッカー等の非磁性皮膜の測定	・アルミや銅などの非磁性金属を素地とする塗料やラッカーといった絶縁皮膜、アルミ上のクロムや無電解ニッケルメッキ（条件付き）の測定	・鉄、鋼、アルミ、銅などの金属を素地とする数多くの皮膜を測定	・多機能な測定評価システムを搭載・PCで検査ジョブ内容を作成し、測定器に転送して測定（オプション）

Fe（Magnetizable material of Steel or iron）：磁性体
NF（Non-ferromagnetic coatings）：非磁性体
Iso（Electrically non-conducting coatings）：絶縁膜
NE（Non-electrical coatings）：非導電性体
※予告なく仕様などの変更がある場合があります。予めご了承ください。

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膜厚測定・組成分析装置

蛍光X線膜厚測定器　主な特長

画像認証　高速X-Yテーブル

長寿命・高性能のX線管球

統合解析ソフトウエア　WinFTM®

画像による直感的な測定ポイント決め

非密閉式の Cスロット形状

独自のDCM法

豊富な標準板ラインナップ

主な仕様

蛍光X線膜厚測定器　主な仕様

ハンディタイプの小型膜厚計　主な仕様

関連製品情報

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蛍光X線膜厚測定器 主な特長

画像認証 高速X-Yテーブル

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画像による直感的な測定ポイント決め

非密閉式の Cスロット形状

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豊富な標準板ラインナップ

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蛍光X線膜厚測定器 主な仕様

ハンディタイプの小型膜厚計 主な仕様

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