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薄膜フィルムや、LCD、半導体の誘電膜の膜厚測定

薄膜フィルム,機能性フィルム

各種薄膜フィルム
PET、PVC、接着層

LCD,液晶,薄膜フィルム,積層フィルム

LCD、ディスプレイ
ITO、ポリイミド

半導体,ガラス,誘電膜,保護膜/半導体,ウェハ

半導体、プロセス薄膜
SiO2、SiN、Poly-Si、α-Si、PI、レジスト

プリント基板,保護膜,HumiSeal,エレップコート

基板保護膜
HumiSeal、エレップコート

  • ナノレベル~ミクロンレベルまで、幅広い膜の厚さを測定したい
  • 製造現場はもちろん、自身のデスクでも測定や解析をしたい
  • 測定のタクトタイムを早くしたい
  • 微細箇所の薄膜を測定したい。膜厚の均一性結果を可視化したい

反射率分光方式 膜厚測定器

測定例

誘電膜,窒化膜,SiN,Si3N4,膜厚測定結果

誘電膜(SiN膜など)の測定

窒化ケイ素膜は誘電体などの材料として半導体産業で広く用いられています。測定は他の多くの誘導体と比べ非常に困難ですが、独自の窒化ケイ素分散モデルにより膜厚と光学特性を容易に測定できます。

SiN,Filmstack
ポリシリコン膜,Poly-si,膜厚測定結果

ポリシリコン膜の測定

導体の膜として使われるポリシリコンの測定事例。酸化膜、アモルファスシリコン、LTなどさまざまな膜厚の測定にも対応しています。

Poly-si,Filmstack
レジスト膜,Resist,膜厚測定結果

レジスト膜の測定

半導体のパターン形成に欠かせないレジスト。数百nm~数μmのレジスト膜を測定できます。

Resist,Filmstack
ITO膜,ポリイミド膜,PI,膜厚測定結果

ITO膜、PI膜の測定

LCD、多様のOLEDなどで使用されるITOなど、ディスプレイを構成する各層の膜厚を把握することは重要な利点となります。LCDではITO層に加え、ポリイミドと液晶層の測定が必要です。

ITO,PI,Filmstack
反射率分光方式 膜厚測定器の詳細を見る
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