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薄膜メタライズ・高機能性めっき膜厚の高速測定

高性能 蛍光X線膜厚測定器・素材分析器

微細回路電極パッドの機能性めっき膜厚測定ウエハー上のメタライズ膜厚測定ウエハー上のメタライズ膜厚測定X線スペクトル分析
  • 再現性はそのままに測定時間を短くしたい
  • 微小部かつ薄膜めっきの膜厚を測定したい
  • 基板に実装された製品状態でも測定したい
  • 測定ごとのパラメータ設定は簡単に済ませたい

半導体・積層コンデンサ・コネクタといった微小電子デバイスの品質管理には非接触・非破壊方式の蛍光X線膜厚測定器による薄膜メタライズ・高機能性めっき表面処理の品質管理が必須です。

ウェハー:Au/Pd/Ni/Cu/Si-wafer

ウェハー:
Au/Pd/Ni/Cu/Si-wafer

SMDコンポーネント:Lead test

SMDコンポーネント:
Lead test

電気めっきstrip:Au/Ni/CuSn6

電気めっきstrip:
Au/Ni/CuSn6

センサ接点:Au/Ni/CuFe

センサ接点:
Au/Ni/CuFe

PCB計測:Au/Ni/Cu/PCB

PCB計測:
Au/Ni/Cu/PCB

ワイヤー:Sn/Cu

ワイヤー:
Sn/Cu

各種コネクタ:Au/Ni/CuSn6

各種コネクタ:
Au/Ni/CuSn6

太陽電池パネル:culnGsGaSe/Mo/glass

太陽電池パネル:
culnGsGaSe/Mo/glass

フィッシャー・インストルメンツの 蛍光X線式膜厚測定・素材分析器はその高いハードウエア性能で測定に理想的な励起条件と検出感度を実現。

複雑な多層薄膜でも非接触・非破壊・短時間で高精度な分析をご提供します。

測定例

膜厚測定

短時間測定でも高い再現性を実現
多層膜1サンプル測定あたり60秒→30秒のケースも

ペースト表面めっきムラ測定

ペースト表面形状の可視化でめっきのムラを評価

ROHS測定

RoHSスクリーニング分析
測定データの外部出力も可能

X線管球

優れた安定性と長寿命を誇るX線管球

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