Filmetrics（フィルメトリクス）
フィルメトリクスは、大手米半導体検査装置メーカーKLAのグループ会社で、1995年に設立された膜厚測定装置の専業メーカーです。 コンパクトな構造でありながらパワフルな解析ソフトを有した光学系の膜厚測定器にて、研究・開発から製造・品質管理まで幅広いプロセスでの膜厚管理に貢献します。
代表製品
F20シリーズ
シングルポイント
膜厚測定システム
・ワイドレンジの膜厚に対応（1 nm〜250 μm）
・広い波長領域に対応（190 nm〜1700 nm）
・パワフルな膜厚解析
・光学定数（屈折率・消衰係数）の解析
・コンパクトな筐体
・インライン測定に対応
F40シリーズ
顕微鏡式
膜厚測定システム
・お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定が可能
・PCモニター上に顕微鏡の観察画像を表示。測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定が可能
・紫外領域、近赤外領域に対応した膜厚測定用顕微鏡オプションを使用することで、広い範囲での膜厚の測定が可能
F50シリーズ
自動マッピング
膜厚測定システム
・測定結果を３D画像として表示することで数値だけでなく視覚的に膜厚を捉えることが可能
・光干渉の原理に基づいた膜厚測定機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム
・300 mmウエハー上の25ポイント測定を最速21秒で完了
・2インチから450 mmまでのシリコン基板に対応し、任意の測定ポイントを指定可能
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