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反射率分光 膜厚測定器

非金属系薄膜,反射率分光,膜厚測定器

コンパクトな構造でありながら、パワフルな解析ソフトを有した光学系の膜厚測定器にて、研究・開発から製造・品質管理まで幅広いプロセスでの膜厚管理に寄与します。
独自の特別なアルゴリズムにより、短時間(通常一秒以内)に正確な”ワンクリック”測定を行い、測定時間の短縮に貢献できます。

主な特長

コンパクトな筐体

膜厚測定器,F20

製造現場、開発者デスクでも設置可能なコンパクトな筐体

容易なオペレーション

反射率分光膜厚測定器,シンプルな測定構成/容易,使い易いユーザーインターフェース,UI

容易なオペレーション、無駄を省いた測定構成。
条件設定から測定まで容易に操作。

幅広い測定レンジと高い精度

誘電膜,窒化膜,SiN,Si3N4,膜厚測定結果

ワイドレンジの膜厚に対応(1 nm〜250 μm)
各層の膜厚をサブミクロンオーダーの精度で測定

高速測定、3D測定結果

12インチ,半導体,ウェハ,高速,均一性,測定結果/膜厚,均一性,3D測定結果

測定結果を3D画像として表示することで数値だけでなく視覚的に膜厚を捉えることが可能
300 mmウエハー上の25ポイント測定を最速21秒で完了

主な仕様

膜厚測定器,F20

F20x 膜厚測定システム

薄膜の膜厚測定

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顕微鏡,膜厚測定器,F40

F40x 顕微鏡式膜厚測定システム

顕微鏡にて観察、膜厚測定

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3D,自動マッピング,膜厚測定器,F50

F50x 自動マッピング膜厚測定システム

自動高速ステージにて、膜厚測定

膜厚測定器,F50,用途,Application,仕様,スペック,Specification,Spec.
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