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レーザ光で変位を測定する非接触変位計です。 測定範囲が160μmと400μmのKL1300Bシリーズと、高さ分解能1μmの走査型光マイクロをラインナップし、シール剤の塗布量制御や、精密電子部品の形状検査、実装部品のコプラナリティ検査に使用され、部品や製品の信頼性・生産性向上に貢献いたします。
本製品は製造中止となりました。
光マイクロ製造中止ページ
をご覧ください。
光マイクロ
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作動距離